當前報道:和遠氣體:一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置取得發(fā)明專利證書
2023-05-07 16:35:43    界面新聞


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和遠氣體5月7日公告,近日,公司取得了1項發(fā)明專利,該發(fā)明專利“一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置”是一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置。該裝置系統(tǒng)保障了單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣的質(zhì)量。

(文章來源:界面新聞)

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